洁净室是一个将一定空间范围内的空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内的温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。  

　　由此，我们可知构成洁净室须俱备以下各项因素：  

1 .能除去空气中飘游之微尘粒子。 

2 .能防止微尘粒子之产生。 

3 .温度和湿度之控制。 

4 .压力之调节。 

5 .有害气体之排除。 

6 .结构物与隔间之气密性。 

7 .静电之防制。 

8 .电磁干扰之预防。 

9 .安全因素之考虑。 

10.节能之考量。 

　　FFU净化单元采用初、高效两级过滤网。风机从FFU顶部将空气吸入并经初高效过滤器过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速均速送出。FFU可模块式连接使用,使得FFU广泛应用洁净室,洁净工作台、洁净生产洁净工作台是一种提供局部无尘无菌工作环境的垂直单向流型空气净化设备。它对改善工艺条件、证产品高精度、高纯度和高可靠性具有良好的效果

　　FFU净化单元在使用寿命及维护上已经实践证明无可担心。当前其改进主要是：

（1）取均流及减少噪音的措施，噪音可在50db以内；

（2）动机采用DC/EC（电子整流电机），以耗较原交流电机节约近50%，因为小风机所用小容量（功率<1P）的交流电机，一般皆为电容分相式或隐极式，其效率仅40%左右，而DC/EC电机的效率可达75%～80%；在调速控制上可每台单独的以过滤器降压进行控制以节约能耗，但目前投资回收期尚长而未广泛采用，一般常用分组群控或全部群控。

（3）但FFU净化单元出口静压不能过大，一般采用出口风速0.38m/s，此时其静压一般在250Pa以内。

FFU净化单元回风系统与其他方式相比的优点 

优点：

（1）灵活性大，便于改造；

（2）占用建筑物空间较少；

（3）洁净净室内空气压力大于回风静压室，排除静压室对洁净室污染的可能性。

缺点：

（1）要求回风道全部阻力（包括多孔地板、格栅及风道）、干表冷器阻力及末级过滤器的阻力（在初阻力时），总共应控制在165Pa左右，以满足运行时最大阻力在250Pa以内。因此干表冷器的传热面积要较大，回风道尺寸亦要较大，多孔地板及格栅等的阻力要小，一般作法是：控制干表冷器阻力在50Pa左右，回风道阻力在15Pa以内，否则就需要再增设加压风机系统，这就是降低了FFU系统的综合优点。

(2)采用DC/EC电机后，单位风量的能耗可能比当前一般大型离心风机的集中系统为低，但已有研究指出，比采用改进后的大型轴流风机的回风系统的能耗还是要高。因此需要注意大型轴流风机的效率提高及其系统的阻力降低的因素。

(3）一般FFU净化单元系统由于单位风量的能耗较大，因此洁净室的冷负荷亦相应增加。

具体情况下的评价

(1)FFU净化单元用于老建筑物改造成洁净室时，其综合经济性一般往往可取。

(2）洁净度要求严的洁净室，末级过滤器满布率100%时，对大的系统采用FFU，当前还是不经济的；对小系统有意义作具体比较。

(3)对洁净度要求不甚严的洁净室，末级过滤器满布率≤40%时对大系统综合经济性往往相差不多，但对IC工厂而言，FFU系统的灵活性是重要的，因此当前IC工厂对过滤器满布率≤40%时，采用FFU系统已经普遍。